ARVA COREA

안녕하세요.

    인터넷 검색하다 방문하게 되었네요..

반도체 장비에 설치검토하기 위해

    할로겐히터를 확인하게 되었습니다.

히터의 구성은

    원형 / U자형 / 라운드형으로 원하는 규격을 찾고 있습니다.

사용용도 :

    반도체 WAFER 뒷면에 접촉하지 않고

    1~2CM 정도 떨어진 상황에서 열을 가하여

    WAFER의 표면 온도를 70~80도까지 올리고자 합니다.

가열 시간은

    5~10분정도가 적당할것 같으며, 

    일정한 온도를 유지 할수 있는지가 가장 중요합니다.

일정한 온도를 유지하려면

    TEMP SENSOR를 달아서 진행하여야 하는데... 

    이부분을 추가로 하지 않고 할로겐히터가 5~10분정도 ON되면

    70~80도만 유지될수 있는 제품이 있는지요?

없다면...

    그부분은 자체에서 고민해야 할듯 합니다. 

답변 : 실리콘웨이퍼의 온도를 70도 까지 상승한다면

   1. 공정상 시간대비 히터방열빛으로 데이터를 내어서

       온도를 제어하는 방법이 있습니다

   2. 그것은 웨이퍼의 온도를 기준으로 하는 것이 아니라

      할로겐히터에서 발열되는 열량을 사전에 측정하여

      상승되는 온도 곡선에 맞게 히터의 전력량을 TPR로

      전력제어를 하여서 온도를 맞추어주는 방법입니다.

   3. 다른 방법은 웨이퍼에 적외선 무접촉센서로 표면온도를

       측정하여서 할로겐 히터로 온도조절을 한다면

       이것도 매우 좋은 방법이라 사료됩니다.

-. 라운드형일 경우에는

    각도 및 길이를 요청한 규격에 맞게 제작가능한지요?

답변 : 원하시는 대로 제작 가능합니다.

   1. 할로겐히터는 내부 열선이 텅스텐와이어 입니다.

   2. 텅스텐 와이어를 유리관안에 삽입시에 각도가 너무 많이

   3. 휘어진다면 선 자체가 단단하여 부러지는 한계가 있습니다.

   4. 부러지지만 않는 각도라면 다 가능합니다.

-. 할로겐히터 자체온도 및 복사열을 줄경우~~

    시간에대한 온도 규격을 알고 싶습니다.

답변 : 시간대비 발열체와 피가열체의 온도는 측정해서

   1. 데이터를 갖고 있어야 합니다.

   2. 아바코리아는 이데이터는 없어요.

-. 가격에 대해 대량 구입시에는 할인이 가능한지요?

답변 : 가능합니다

   1. 소량일때도 10개 정도만 되어도 단가 비싸지 않고요

   2. 양이 좀되면 많이 싸 집니다.

-. 사용 VOLTAGE 및 정확한 규격을 알고 싶습니다..

답변 : 원하시는 대로 전압 전력량대로 만들어 드립니다.

   1. 전력밀도가 너무 높은것은 사전에 말씀드리고요

   2. 저희 회사는 할로겐 히터를 만들지

   3. 저희 회사는 할로겐 램프를 만들지 않습니다.

   4. 히터와 램프의 차이점은

   5. 1700-2400도 사이의 색온도를 히터라고 하고

   6. 그 이상은 조명에 쓰이는 램프라고 합니다.

   7. 전기 가게에서 파는 것은 99% 램프 용도입니다[단가도 싸요]

혹! 이해부분에 문제가 있다면 전화부탁드립니다.

답변 : 고객때문에 답변드린것이지만

   1. 질문시에 전화번호 회사명 이름 핸드폰 주소등은

   2. 여러 고객을 위하여서 공개해 주시길 바랍니다.

   3. 공장계통의 기술은 거의다가 쟁이들이라

   4. 한가지라도 잘 배우고 가르쳐준다면

   5. 그것은 친구라 할수 있고

   6. 나만을 위하는 비공개는 기술이 체크되지 않기에

   7. 누군가는 해본일의 시행착오를 다시 분명히 겪어야 합니다.

수고하세요.

답변자 : 대표 관리자 입니다.